株式会社クリエイティブテクノロジー

静電チャックとは、電気的な力で対象物（ワーク）を吸着させる機器です。

目には見えませんが、あらゆる物質はプラスとマイナスの電荷を持っています。ワークを静電チャックに載せた状態で、内部電極にプラスとマイナスの電圧を印加すると、ワーク内のプラスとマイナスの電荷が内部電極の極性と引き合うように移動します。この静電チャックとワークの間で発現する引き寄せ合う力が、静電チャック吸着の仕組みです。

たとえば、皆さんがお持ちのパソコンやスマートホン、自動車をはじめ、多くの電気製品には「ICチップ」と呼ばれる部品、すなわち人間の脳のような働きをする電子部品が組み込まれています。このような部品は一般的に「半導体」と呼ばれていますが、静電チャックは半導体を製造する過程において、基板材料となるシリコンウェハーを大気・真空を問わず確実に把持（はじ）する機器として重要な役割を担ってきました。

近年ではその吸着力を生かし、工場の自動化を促進するための静電気ロボットハンドとして活躍しています。また画鋲やマグネットを使わない新しい静電気掲示板としての用途開発も進んでおり、静電チャックは人々の暮らしをより便利にするためのアイテムとして注目を集めています。

このように、静電チャックは皆さんの身近にある「あたりまえ」を裏から支える、言わば縁の下の力持ちです。

近年、あらゆるもののデジタル化が進む中で、半導体は社会生活において欠かせないものとなっています。クリエイティブテクノロジーの静電チャックは、半導体分野において、薄膜形成、エッチング、イオン注入、ウェハ検査など、半導体製造の「前工程」と呼ばれるシーンを中心に幅広く活躍しています。半導体の微細化・軽薄化によって生じるお客様からのさまざまな要求に応えるべく、静電チャックに関する日々の研究を継続するとともに、設計・開発・量産・カスタマイズ・修理・再生等を通じて、お客様のプロセス向上に貢献しています。

世の中には静電チャック以外にも、メカクランプやバキュームチャック（真空チャック）といったワークを把持する方法がありますが、たとえば、薄い金属箔やフィルムといった繊細なワークを吸着する場合、少しでも物理的な力が加わると、ワークにダメージが入り、それだけで欠陥品となってしまうことがあります。この点、静電チャックは電気的な力でワーク全体を均一に吸着するため、ワークへの物理的な負担が少なく、このような繊細なワークを吸着するのに適していると言えます。
また、布のように比較的しっかりとしたワークを吸着する際には、メッシュなど穴の開いた素材でも難なく吸着でき、平面を保ったまま搬送することに優れていますので、近年の世界的な自動化・省人化の流れの中で選ばれる機会が増えてきました。

ソフトグリッパーとは、独自開発の柔軟素材に静電吸着機能を付与した新発想のハンドリングツールです。
従来の静電チャックはシリコンウェハーやガラスといった平坦な対象物を吸着するという目的から、ソリッドかつフラットという形状が一般的でした。しかし、近年の世界的な自動化・省人化の流れにおいては、多種多様な対象物のハンドリングが要求され、弊社にも立体形状をはじめとするさまざまな形状の対象物を吸着したいという要望が寄せられるようになりました。
このような要望に応えるため、独自開発の柔軟素材に摩擦力と静電吸着力を付与したハンドリング技術を開発しました。対象物を優しく包み込み、グリップ時の対象物へのダメージを軽減する事が可能です。

「貼る」「はがす」が自由自在
添えるだけで貼れる不思議なディスプレイボード。貼りたい紙が有ればさっと添えるだけ。静電気の力でピタッと吸着します。

いつでもどこでもおいしい空気。持ち運べる空気清浄器。
自社独自開発の高機能フィルターとマイナスイオンのパワーで常に安心できる空気をお届け。
自社独自開発の3層構造静電集塵高機能フィルターを搭載し、空気中のあらゆる細菌を除去。花粉やPM2.5 はもちろん、さらに小さいウイルスまで吸着可能です。
マイナスイオン効果で消臭& 除菌機能も充実です。

靴に入れてボタンを押すだけで、2時間後にはあの靴の嫌な臭いが“あら不思議！”新開発ラジカルシートであなたの靴を簡単除菌・消臭！
独自開発のラジカルシートによる驚きの除菌・消臭能力
靴の嫌な臭いは、主に靴の中で繁殖した雑菌 （臭いの原因菌）によって作られます。
DEODORANT ONEは自社開発のラジカルシート表面近傍で発生するラジカル（活性種）によってこの臭いの原因菌を強力に除菌、臭いを元から断ちます。加えて、ラジカルシートの作り出すオゾンなどの活性種が、悪臭の分解も行い、効果的に靴の中の臭いを軽減させることが できます。
また、水虫の原因菌である白癬菌に対しても効果があるため継続的に使用することで、靴の中 を清潔に保つことができます。

Ion Padの技術
Ion Padは特殊樹脂コーティングとベース基材からなり、Ion Padと対象物の界面に、化学的または物理的結合力を発現させるツールです。界面の結合力を利用しているため、対象物を把持する際は電気、バキュームなど外部からのエネルギー供給を必要としません。そのため電気配線やエア配管が不要であり、設備の簡易化が可能な新しい把持機構です。また環境にやさしいクリーンな製品です。

★用途例
・容量変化による対象物の在荷検出
・容量値による材質識別
・容量値の違いによる裏表確認
・静電チャック（ESC）の状態を常時モニタリング
★特長
・静電チャックと対象物間の静電容量を検出し、プロセス異常や対象物の状態を常時モニタリングすることが可能
・静電チャックや制御電源を改造することなく、静電チャックにセンサ機能を付与することが可能
・デジタル（2ch）とアナログ出力I/Oを搭載し、生産設備との通信が容易